| 項目 | VMS-2010F | VMS-3020-F | VMS-4030F | VMS-5040F |
|---|---|---|---|---|
| 寸法(mm)(L×W×H) | 500*700*1100 | 600*750*1100 | 700*900*1150 | 850*1050*1200 |
| 測定範囲(mm)(X×Y×Z) | 200*100*200 | 300*200*200 | 400*300*200 | 500*400*200 |
| 測定精度(µm) | 3+L/200 | 3+L/200 | 3+L/200 | 3+L/200 |
| 繰り返し精度(µm) | 3 | 3 | 3 | 3 |
| 重量(kg) | 150 | 180 | 200 | 240 |