| 項目 | CNC-3020AH | CNC-4030AH | CNC-5040AH |
|---|---|---|---|
| 寸法 (mm) (L×W×H) | 700×850×1650 | 800×900×1650 | 900×1050×1650 |
| 測定範囲 (mm) (X×Y×Z) | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 測定精度 (μm) | 3+L/200 | 3+L/200 | 3+L/200 |
| 繰り返し精度 (μm) | 3 | 3 | 3 |
| 重量 (kg) | 300 | 380 | 450 |
| CCD | 日本製ソニーCCD |
| レンズ | 高解像度ズームレンズ / 連続倍率 0.7-5.0x |
| 倍率 | 40-230X (参考用。カメラとレンズによって倍率は異なります) |
| 光学スケール分解能 | X/Y/Z軸 0.0002mm (0.2μm) |
| 作動距離 | 108mm |