| 項目 | CNC-6050D | CNC-6070D | CNC-6080D |
|---|---|---|---|
| 寸法(mm)(L×W×H) | 1200×1100×1650 | 1200×1300×1650 | 1200×1400×1650 |
| 測定範囲(mm)(X×Y×Z) | 600×500×200 | 600×700×200 | 600×800×200 |
| 測定精度(μm) | 3+L/200 | 3+L/200 | 3+L/200 |
| 繰り返し精度(μm) | 3 | 3 | 3 |
| 重量(kg) | 1000 | 1100 | 1200 |
| CCD | 日本製SONY CCD |
| レンズ | 高解像度ズームレンズ/連続倍率0.7-5.0x |
| 倍率 | 40-230X(参考用。カメラとレンズが異なると倍率も異なります。) |
| 光学スケール分解能 | X/Y/Z軸0.0002mm(0.2μm) |
| 作動距離 | 108mm |