| ポイント | CNC-3020P | CNC-4030P | CNC-5040P |
|---|---|---|---|
| 尺寸 (mm) (L×W×H) | 700×850×1650 | 800×900×1650 | 900×1050×1650 |
| 測定範囲 (mm) (X×Y×Z) | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 測定精度 (μm) | 3+L/200 | 3+L/200 | 3+L/200 |
| 繰り返し性 (μm) | 3 | 3 | 3 |
| 体重 (kg) | 300 | 380 | 450 |
| CCD | HK CCD | |
| レンズ | 高画質ズームレンズ/連続拡大 0.7-5.0x | |
| 拡大 | 30-230X (参照のみ.異なるカメラとレンズで拡大が異なる.) | |
| 光学スケール解像度 | X/Y/Z軸 0.0002mm (0.2μm) | |
| 作業距離 | 108mm | |