| モデル | CNC-3020AH | CNC-4030AH | CNC-5040AH |
|---|---|---|---|
| 寸法(L×W×H)mm | 700×850×1650 | 800×900×1650 | 900×1050×1650 |
| 測定範囲(X×Y×Z)mm | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 測定精度(μm) | 3+L/200 | 3+L/200 | 3+L/200 |
| 再現性(μm) | 3 | 3 | 3 |
| 重量(kg) | 300 | 380 | 450 |
| CCDカメラ | 日本製SONY CCD |
| レンズ | 連続倍率0.7-5.0xの高解像度ズームレンズ |
| 倍率 | 40-230X(参考値のみ - カメラとレンズの構成によって異なります) |
| 光学スケール分解能 | X/Y/Z軸 0.0002mm(0.2μm) |
| 作動距離 | 108mm |