| モデル | CNC-1012D | CNC-1016D | CNC-1216D |
|---|---|---|---|
| 寸法 (L*W*H) mm | 1600*2000*1650 | 1600*2400*1650 | 2000*2400*1650 |
| 測定範囲 (X*Y*Z) mm | 1000*1200*200 | 1000*1600*200 | 1200*1600*200 |
| 測定精度 (μm) | ≦3+L/200 | ≦3+L/200 | ≦3+L/200 |
| 繰り返し精度 (μm) | 3 | 3 | 3 |
| 重量 (kg) | 1600 | 1700 | 2000 |
| CCDカメラ | 高品質日本製SONY CCD |
| レンズ | 0.7-5.0倍連続倍率の高精細ズームレンズ |
| 倍率 | 40-230X (参考値 - カメラとレンズの構成によって異なります) |
| 光学スケール分解能 | X/Y/Z軸 0.0002mm (0.2μm) |
| 作動距離 | 108mm |